洁净厂房设计规范GB50073-2013

发布日期：2023-11-08 来源: 网络 阅读量（ ）

　　洁净厂房设计规范GB50073-2013本规范是根据原建设部《关于印发2002-2003年度工程建设国家标准规范制订、修订计划的通知》(建标函〔2003〕102号)的要求，由中国电子工程设计院会同有关单位共同对《洁净厂房设计规范》GB 50073-2001修订而成。

　　本规范在修订过程中，修订组结合我国洁净厂房设计建造和运行的实际情况，进行了广泛的调查研究和测试，认真总结了《洁净厂房设计规范》GB 50073-2001多年来实施的经验，广泛征求了全国有关单位的意见，最后经审查定稿。

　　本规范共9章和3个附录，主要内容包括：总则、术语、空气洁净度等级、总体设计、建筑、空气净化、给水排水、工业管道、电气等。

　　本规范主要的修订技术内容是：修改了第2章术语;对第3章空气洁净度等级的相关内容作了修改和补充;修改了第8章，更名为“工业管道”;修改了部分“强制性条文”为“非强制性条文”。

　　本规范由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释，由工业和信息化部负责日常管理，由中国电子工程设计院负责具体技术内容的解释。在本规范执行过程中如有意见或建议，请寄送中国电子工程设计院(地址：北京市海淀区万寿路27号，邮政编码：100840，传真)，以便今后修订时参考。

　　参编单位：信息产业部第十一设计研究院科技工程股份有限公司 中国石油化工集团上海医药工业设计院 中国建筑科学研究院

　　主要起草人：陈霖新 张利群 王唯国 缪德骅 晁阳 赵海 俞渭雄 周春海 秦学礼 谭易和 贺继行 肖红梅 樊勖昌 张彦国 黄德明 牛光宏 冷捷敏 冯佩明

　　1.0.1  为了使洁净厂房设计符合节约能源、劳动卫生和环境保护的要求，做到技术先进、经济适用、安全可靠，确保洁净厂房设计质量，制定本规范。

　　空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留的粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。

　　空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。空间内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式。

　　用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.1μm～5μm的固体和液体粒子，但不适用于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性及生命性。

　　为确认过滤器安装良好、没有向洁净室(区)的旁路渗漏，过滤器及其框架均无缺陷和渗漏所做的检测。

　　能防止静电危害的特定环境，在这一环境中不易产生静电，静电产生后易于消散或消除，静电噪声难以传播。

　　在材料的相对两表面上放置的两电极间所加直流电压与流过两电极间的稳态电流之商。该电流不包括沿材料表面的电流。

　　每立方米空气中包括超微粒子的实测或规定浓度。U描述符不能规定悬浮粒子洁净度等级，但它可与悬浮粒子洁净度等级同时引述，也可以单独引述。

　　每立方米空气中实测的或规定的微粒子。M描述符不能规定悬浮粒子洁净度等级，但它可与悬浮粒子洁净度等级同时引述，也可以单独引述。

　　式中：Cn——大于或等于要求粒径的最大浓度限值(pc/m3)。Cn是四舍五入至相近的整数，有效位数不超过三位数;

　　N——空气洁净度等级，数字不超过9，洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为最小允许递增量;

　　4  空气洁净度等级的粒径范围应为0.1μm～0.5μm，超出粒径范围时可采用U描述符或M描述符补充说明。

　　3.0.2  空气洁净度等级所处状态包括空态、静态、动态，空气洁净度等级所处状态应与业主协商确定。

　　3.0.4  当洁净室(区)内的产品生产工艺要求控制微生物、化学污染物时，应根据工艺特点对各空气洁净度等级规定相应的微生物、化学污染物浓度限值。

　　2  应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。当不能远离严重空气污染源时，应位于最大频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧。

　　4.1.2  对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表容许振动值分析比较后确定。

　　4.1.6  洁净厂房周围应进行绿化。可铺植草坪，不应种植对生产有害的植物，并不得妨碍消防作业。

　　1  工艺平面布置应合理、紧凑。洁净室或洁净区内应只布置必要的工艺设备，以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。

　　2  在满足生产工艺和噪声要求的前提下，对空气洁净度要求严格的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房，空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置。

　　3  洁净室内对空气洁净度要求严格的工序应布置在上风侧，易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。

　　4.2.2  洁净厂房的平面和空间设计应满足生产工艺和空气洁净度等级要求。洁净区、人员净化、物料净化和其他辅助用房应分区布置，并应与生产操作、工艺设备安装和维修、管线布置、气流流型以及净化空调系统等各种技术设施进行综合协调。

　　4.2.4  在满足生产工艺和空气洁净度等级要求的条件下，洁净厂房内各种固定技术设施的布置，应优先考虑净化空调系统的要求。固定技术设施包括送风口、照明器、回风口、各种管线  人员净化和物料净化

　　4.3.1  洁净厂房内应设置人员净化、物料净化用室和设施，并应根据需要设置生活用室和其他用室。

　　2  厕所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空气吹淋室、气闸室、工作服洗涤间和干燥间等可根据需要设置。

　　5  空气吹淋室应设在洁净区人员入口处，并与洁净工作服更衣室相邻。单人空气吹淋室按最大班人数每30人设一台。洁净区工作人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设旁通门。

　　4.3.4  人流路线  人流路线  人员净化用室和生活用室的布置应按人员净化程序(图4.3.4)进行布置。

　　4.3.6  洁净工作服更衣室、洗涤室的空气净化要求宜根据产品工艺要求和相邻洁净室(区)的空气洁净度等级确定。4.3.7  洁净室内设备和物料出入口应根据设备和物料的性质、形状等特征设置物料净化用室及其设施。物料净化用室的布置应防止净化后物料在传递过程中被污染。

　　4.4.1  洁净室内的空态噪声级，非单向流洁净室不应大于60dB(A)，单向流、混合流洁净室不应大于65dB(A)。

　　4.4.2  洁净室的噪声频谱限制应采用倍频程声压级，空态噪声频谱的限制值不宜大于表4.4.2中的规定。

　　4.4.5  净化空调系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、隔振等控制措施。除事故排风外，洁净室内的排风系统应进行减噪设计。

　　3  应测定洁净厂房内、外各类振源对洁净厂房精密设备、精密仪器仪表位置处的综合振动影响，以决定是否采取被动隔振措施。

　　4.5.2  精密设备、精密仪器仪表的容许振动值应由生产工艺和设备制造部门提供。当生产工艺和设备制造部门难以提供容许振动值时，可按现行国家标准《隔振设计规范》GB 50463的有关规定执行。

　　4  设备、仪器仪表的底座外轮廓图，附属装置，管道位置及坑、沟、孔洞尺寸，地脚螺栓及预埋件位置等。

　　4.5.5  精密设备、精密仪器仪表的被动隔振措施宜采用能自动校正倾斜的空气弹簧隔振装置。对供应空气弹簧用的气源应进行净化处理。

　　5.1.1  洁净厂房的建筑平面和空间布局应具有适当的灵活性。主体结构宜采用大空间及大跨度柱网，不宜采用内墙承重体系。

　　5.1.3  洁净厂房主体结构的耐久性应与室内装备和装修水平相协调，并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能。厂房变形缝不宜穿越洁净区。

　　5.1.4  送、回风管和其他管线暗敷时，应设置技术夹层、技术夹道或地沟等。穿越楼层的竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖井，其形式、尺寸和构造应符合风道、管线的安装、检修和防火要求。

　　5.1.5  对兼有一般生产和洁净生产的综合性厂房的平面布局和构造处理，应避免人流、物流运输及防火方面对洁净生产带来不利的影响。

　　5.2.2  洁净厂房内生产工作间的火灾危险性，应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。洁净厂房生产工作间的火灾危险性分类举例应符合本规范附录B的规定。

　　5.2.3  生产类别为甲、乙类生产的洁净厂房宜为单层厂房，其防火分区最大允许建筑面积，单层厂房宜为3000m2，多层厂房宜为2000m2。丙、丁、戊类生产的洁净厂房的防火分区最大允许建筑面积应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。

　　5.2.4  洁净室的顶棚、壁板及夹芯材料应为不燃烧体，且不得采用有机复合材料。顶棚和壁板的耐火极限不应低于0.4h，疏散走道顶棚的耐火极限不应低于1.0h。

　　5.2.5  在一个防火分区内的综合性厂房，洁净生产区与一般生产区域之间应设置不燃烧体隔断措施。隔墙及其相应顶棚的耐火极限不应低于1h，隔墙上的门窗耐火极限不应低于0.6h。穿隔墙或顶板的管线周围空隙应采用防火或耐火材料紧密填堵。

　　5.2.6  技术竖井井壁应为不燃烧体，其耐火极限不应低于1h。井壁上检查门的耐火极限不应低于0.6h;竖井内在各层或间隔一层楼板处，应采用相当于楼板耐火极限的不燃烧体作水平防火分隔;穿过水平防火分隔的管线周围空隙应采用防火或耐火材料紧密填堵。

　　5.2.7  洁净厂房每一生产层，每一防火分区或每一洁净区的安全出口数量不应少于2个。当符合下列要求时可设1个：

　　1  对甲BWIN、乙类生产厂房每层的洁净生产区总建筑面积不超过100m2，且同一时间内的生产人员总数不超过5人。

　　2  对丙、丁、戊类生产厂房，应按现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定设置。

　　5.2.8  安全出入口应分散布置，从生产地点至安全出口不应经过曲折的人员净化路线，并应设有明显的疏散标志，安全疏散距离应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。

　　5.2.9  洁净区与非洁净区、洁净区与室外相通的安全疏散门应向疏散方向开启，并应加闭门器。安全疏散门不应采用吊门、转门、侧拉门、卷帘门以及电控自动门。

　　5.2.10  洁净厂房同层洁净室(区)外墙应设可供消防人员通往厂房洁净室(区)的门窗，其门窗洞口间距大于80m时，应在该段外墙的适当部位设置专用消防口。

　　专用消防口的宽度不应小于750mm，高度不应小于1800mm，并应有明显标志。楼层的专用消防口应设置阳台，并从二层开始向上层架设钢梯。

　　5.2.11  洁净厂房外墙上的吊门、电控自动门以及装有栅栏的窗，均不应作为火灾发生时提供消防人员进入厂房的入口。

　　5.3.1  洁净厂房的建筑围护结构和室内装修，应选用气密性良好，且在温度和湿度变化时变形小、污染物浓度符合现行国家有关标准规定限值的材料。洁净室装饰材料及密封材料不得采用释放对室内各种产品品质有影响物质的材料。

　　3  洁净室不宜采用砌筑墙抹灰墙面，当必须采用时宜采用干燥作业，抹灰应采用符合现行国家标准《建筑装饰装修工程质量验收规范》GB 50210中高级抹灰的要求。墙面抹灰后应刷涂料面层，并应选用难燃、不开裂、耐腐蚀、耐清洗、表面光滑、不易吸水变质发霉的涂料。

　　5.3.4  洁净厂房技术夹层的墙壁和顶棚表面宜平整、光滑，位于地下的技术夹层应采取防水或防潮、防霉措施。

　　5.3.5  洁净室(区)和人员净化用室设置外窗时，应采用双层玻璃固定窗，并应有良好的气密性。

　　5.3.6  洁净室内的密闭门应朝空气洁净度较高的房间开启，并应加设闭门器，无窗洁净室的密闭门上宜设观察窗。

　　5.3.8  洁净室内的色彩宜淡雅柔和。室内顶棚和墙面表面材料的光反射系数宜为0.6～0.8，地面表面材料的光反射系数宜为0.15～0.35。

　　5.3.10  室内装修材料的燃烧性能必须符合现行国家标准《建筑内部装修设计防火规范》GB 50222的有关规定。装修材料的烟密度等级不应大于50，材料的烟密度等级试验应符合现行国家标准《建筑材料燃烧或分解的烟密度试验方法》GB/T 8627的有关规定。

　　6.1.6  洁净区的清扫宜采用移动式高效真空吸尘器，但空气洁净度等级为1级～5级的单向流洁净室宜设置集中式真空吸尘系统。洁净室内的吸尘系统管道应暗敷，吸尘口应加盖封堵。

　　6.2.1  洁净室(区)与周围的空间必须维持一定的压差，并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。

　　6.2.2  不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa，洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa，洁净区与室外的压差不应小于10Pa。

　　6.2.3  洁净室维持不同的压差值所需的压差风量，根据洁净室特点，宜采用缝隙法或换气次数法确定。

　　6.2.4  送风、回风和排风系统的启闭宜联锁。正压洁净室联锁程序应先启动送风机，再启动回风机和排风机;关闭时联锁程序应相反。

　　1  洁净室(区)的气流流型和送风量应符合表6.3.3的要求。空气洁净度等级要求严于4级时，应采用单向流;空气洁净度等级为4级～5级时，应采用单向流;空气洁净度等级为6级～9级时，应采用非单向流。

　　6.3.3  为保证空气洁净度等级的送风量，应按表6.3.3中的有关数据进行计算或按室内发尘量进行计算。

　　6.3.4  洁净室内各种设施的布置应考虑对气流流型和空气洁净度的影响，并应符合下列规定：

　　4  亚高效过滤器和高效过滤器作为末端过滤器时宜设置在净化空调系统的末端，超高效过滤器应设置在净化空调系统的末端。

　　3  排风介质中有害物浓度及排放速率超过国家或地区有害物排放浓度及排放速率规定时，应进行无害化处理。

　　6.5.5  换鞋、存外衣、盥洗、厕所和淋浴等生产辅助房间应采取通风措施，其室内的静压值应低于洁净区。

　　6.5.6  根据生产工艺要求应设置事故排风系统。事故排风系统应设自动和手动控制开关，手动控制开关应分别设在洁净室内、外便于操作处。

　　2  洁净厂房设置的排烟设施应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。

　　6.6.1  净化空调系统的新风管段应设置电动密闭阀、调节阀，送、回风管段应设置调节阀，洁净室内的排风系统应设置调节阀、止回阀或电动密闭阀。

　　6.6.3  净化空调系统的风管和调节风阀、高效空气过滤器的保护网、孔板、扩散孔板等附件的制作材料和涂料，应符合输送空气的洁净度要求及其所处的空气环境条件的要求。

　　洁净室内排风系统的风管和调节阀、止回阀、电动密闭阀等附件的制作材料和涂料，应符合排除气体的性质及其所处的空气环境条件的要求。

　　6.6.4  净化空调系统的送、回风总管及排风系统的吸风总管段上宜采取消声措施，满足洁净室内噪声要求。

　　净化空调系统的排风管或局部排风系统的排风管段上，宜采取消声措施，满足室外环境区域噪声标准的要求。

　　6.6.5  在空气过滤器的前、后应设置测压孔或压差计。在新风管、送风、回风总管段上，宜设置风量测定孔。

　　7.1.1  洁净厂房内的给水排水干管应敷设在技术夹层或技术夹道内，也可埋地敷设。洁净室内管道宜暗装，与本房间无关的管道不宜穿过。

　　7.1.2  管道外表面可能结露时，应采取防护措施。防结露层外表面应光滑，易于清洗，并不得对洁净室造成污染。

　　7.1.3  管道穿过洁净室墙壁、楼板和顶棚时应设套管，管道和套管之间应采取可靠的密封措施。无法设置套管的部位也应采取有效的密封措施。

　　7.2.1  洁净厂房内的给水系统应符合生产、生活和消防等各项用水对水质、水温、水压和水量的要求，并应分别设置。管道的设计应留有余量，以适应工艺变动。

　　7.3.1  排水系统应符合工艺设备排出的废水性质、浓度和水量等要求。有害废水应经废水处理，达到国家排放标准后排出。

　　7.3.2  洁净室内的排水设备以及与重力回水管道相连接的设备，必须在其排出口以下部位设水封装置，排水系统应设有完善的透气装置。

　　4  空气洁净度等级等于或严于7级的洁净室内不应穿过排水立管，其他洁净室内穿过排水立管时不应设检查口。

　　7.4.1  洁净厂房必须设置消防给水设施，消防给水设施设置设计应根据生产的火灾危险性、建筑物耐火等级以及建筑物的体积等因素确定。

　　7.4.2  洁净厂房的消防给水和固定灭火设备的设置应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。

　　7.4.3  洁净室的生产层及可通行的上、下技术夹层应设置室内消火栓。消火栓的用水量不应小于10L/s，同时使用水枪数不应少于2只，水枪充实水柱长度不应小于10m，每只水枪的出水量应按不小于5L/s计算。

　　7.4.4  洁净厂房内各场所必须配置灭火器，配置灭火器设计应符合现行国家标准《建筑灭火器配置设计规范》GB 50140的有关规定。

　　7.4.5  洁净厂房内设有贵重设备、仪器的房间设置固定灭火设施时，除应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定外，还应符合下列规定：

　　2  当设置气体灭火系统时，不应采用卤代烷1211以及能导致人员窒息和对保护对象产生二次损害的灭火剂。

　　4  当易燃、易爆、有毒物质管道敷设在技术夹层或技术夹道内时，必须采取可靠的浓度检测报警、通风措施BWIN。

　　8.1.2  洁净室(区)工业管道的设计应符合现行国家标准《工业金属管道设计规范》GB 50316的有关规定。

　　8.1.4  工业管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施。

　　8.1.5  可燃气体管道、氧气管道的末端或最高点均应设置放散管。放散管引至室外应高出屋脊1m，并应有防雨、防杂物侵入的措施。

　　8.1.6  气体净化装置的选择和配置应符合气源和生产工艺对气体纯度的要求。气体终端净化装置宜设在邻近用气点处。

　　8.1.7  气体过滤器的选择和配置应符合生产工艺对气体洁净度的要求。高纯气体终端过滤器应设在靠近用气点处。

　　8.1.8  洁净厂房内、生产类别为现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016规定的甲、乙类气体、液体入口室或分配室的设置应符合下列规定：

　　1  当毗连布置时，应设在单层厂房靠外墙或多层厂房的最上一层靠外墙处，并应与相邻房间采用耐火极限大于3.0h的隔墙分隔。

　　3  泄压设施和电气防爆应按现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016、《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定执行。

　　8.2.1  工业管道材料和阀门应根据所输送物料的物化性质和使用工况选用，并应满足生产工艺的要求和使用特点，经技术经济比较后确定。

　　1  当气体纯度大于或等于99.999%，露点低于-76℃时，应采用内壁电抛光的低碳不锈钢管或内壁光亮抛光的不锈钢管。阀门宜采用隔膜阀或波纹管阀。

　　2  当气体纯度大于或等于99.99%，露点低于-60℃时，应采用内壁光亮抛光的不锈钢管。除可燃气体管道宜采用波纹管阀外，其他气体管道宜采用球阀。

　　8.2.3  当干燥压缩空气露点低于-70℃时，应采用内壁光亮抛光的不锈钢管;当露点低于-40℃时，宜采用不锈钢管或热镀锌无缝钢管。阀门宜采用波纹管阀或球阀。

　　2  高纯气体管道与阀门连接的密封材料应按生产工艺和气体特性的要求确定，宜采用金属垫或双卡套。

　　8.3.4  洁净室(区)内的工业管道应根据管子表面温度和环境温度、湿度确定保温形式和构造。冷管道保温后的外表面温度不应低于环境的露点温度。保温层外表面应采用不产生尘粒、微生物的材料，并应平整、光洁，宜采用金属外壳保护。

　　8.4.1  下列部位应设可燃气体报警装置和事故排风装置，报警装置应与相应的事故排风机连锁：

　　8.4.5  各种气瓶库应集中设置在洁净厂房外。当日用气量不超过1瓶时，气瓶可设置在洁净室内，应采取不积尘和易于清洁的措施。

　　9.1.1  洁净厂房低压配电设计应采用220/380V。带电导体系统的形式宜采用单相二线制、三相三线制、三相四线制。系统接地的形式宜采用TN-S或TN-C-S系统。

　　9.1.2  洁净厂房的用电负荷等级和供电要求应按现行国家标准《供配电系统设计规范》GB 50052的有关规定和生产工艺要求确定。主要生产工艺设备应由专用变压器或专用低压馈电线路供电，有特殊要求的工作电源宜设置不间断电源(UPS)。净化空调系统用电负荷、照明负荷应由变电所专线  洁净厂房消防用电设备的供配电设计应按现行国家标准《建筑防火设计规范》GB 50016有关规定执行。

　　9.1.5  洁净室内的配电设备应选择不易积尘、便于擦拭的小型暗装设备，不宜设置大型落地安装的配电设备。

　　9.1.6  洁净室内的电气管线宜暗敷，穿线导管应采用不燃材料。洁净区的电气管线管口及安装于墙上的各种电器设备与墙体接缝处应有可靠的密封措施。

　　9.2.1  洁净室内照明光源宜采用高效荧光灯。若工艺有特殊要求或照度值达不到设计要求时，可采用其他形式光源。

　　9.2.2  洁净室内一般照明灯具应为吸顶明装。当灯具嵌入顶棚暗装时，安装缝隙应有可靠的密封措施。洁净室应采用洁净室专用灯具。

　　9.2.3  无采光窗的洁净室(区)的生产用房间一般照明的照度标准值宜为200lx～500lx，辅助用房、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等宜为150lx～300lx。

　　9.2.6  洁净厂房内应设置供人员疏散用的应急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道转角处应按现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定设置疏散标志。在专用消防口处应设置疏散标志。

　　9.2.7  洁净厂房中有爆炸危险的房间的照明灯具和电气线路的设计，应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定。

　　9.3.1  洁净厂房内应设置与厂房内、外联系的通信装置。洁净厂房内生产区与其他工段的联系宜设生产对讲电线  洁净厂房根据生产管理和生产工艺特殊需要，宜设置闭路电视监视系统。

　　9.3.3  洁净厂房的生产层、技术夹层、机房、站房等均应设置火灾报警探测器。洁净厂房生产区及走廊应设置手动火灾报警按钮。

　　9.3.4  洁净厂房应设置消防值班室或控制室，并不应设在洁净区内。消防值班室应设置消防专用电线  洁净厂房的消防控制设备及线路连接应可靠。控制设备的控制及显示功能应符合现行国家标准《火灾自动报警系统设计规范》GB 50116的有关规定。洁净区内火灾报警应进行核实，并应进行下列消防联动控制：

　　1  应启动室内消防水泵，接收其反馈信号。除自动控制外，还应在消防控制室设置手动直接控制装置。

　　2  应关闭有关部位的电动防火阀，停止相应的空调循环风机、排风机及新风机，并应接收其反馈信号。

　　9.3.6  洁净厂房中易燃、易爆气体、液体的贮存和使用场所及入口室或分配室应设可燃气体探测器。有毒气体、液体的贮存和使用场所应设气体检测器。报警信号应联动启动或手动启动相应的事故排风机，并应将报警信号送至消防控制室。

　　9.4.3  净化空调系统的电加热器应设置无风、超温断电保护装置。当采用电加湿器时，应设置无水保护装置。

　　2  地面的面层应采用静电耗散性的材料，其表面电阻率应为1.0×105Ω/□～1.0×1012Ω/□或体积电阻率为1.0×104Ω·cm～1.0×1011Ω·cm。

　　3  地面应设有导电泄放措施和接地构造，其对地泄放电阻值应为1.0×105Ω～1.0×109Ω。

　　9.5.4  洁净室内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施，其中有爆炸和火灾危险场所的设备、管道应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定。

　　9.5.5  防静电接地系统应分别按不同要求设置接地连接端子。在一个房间内应设置等电位的接地网格或闭合的接地铜排环。

　　9.5.6  洁净厂房内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电位联结的原则，其中直流接地系统不能与交流接地系统混接。直流工作接地的接地干线应单独绝缘敷设，并应使用绝缘屏蔽电缆。

　　9.5.7  接地系统采用综合接地方式时接地电阻值应小于或等于1Ω：选择分散接地方式时，各种功能接地系统的接地体必须远离防雷接地系统的接地体，两者应保持20m以上的间距。洁净厂房的防雷接地系统设计应符合现行国家标准《建筑物防雷设计规范》GB 50057的有关规定。

　　A.1.1  洁净室或洁净区应监测或定期进行性能测试，以认证该洁净室或洁净区始终符合本规范的要求。

　　A.1.3  测试和认证工作之前，系统应达到稳定运行。测试和监测仪表应在标定证书有效使用期内。

　　A.2.3  当洁净室或洁净区已对粒子浓度、风速或风量、静压差执行连续监测，并且其测试值均符合本规范要求，则认证的测试时间间隔可延长。具体间隔时间可与认证单位洽商，并应符合下列规定：

　　1  静压差的测定应在洁净室(区)的风速、风量和送风均匀性检测合格后进行，并应在所有的门关闭时检测。

　　2  在过滤器上风侧应引入测试用气溶胶，在过滤器下风侧用光度计或粒子计数器的等动力采样头放在距离被检过滤器表面2cm～3cm处，以5mm/s～15mm/s的扫描速度移动，并应注意安装交接处的扫描。

　　A.3.4  密闭性测试应用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室(区)或非洁净室(区)通过吊顶、隔墙等表面或门、窗渗漏入洁净室(区)。一般适用于1级至5级的洁净室(区)进行测试。采用光度计法和粒子计数器法进行测试。

　　1  使用采样量大于1L/min的光学粒子计数器，在仪器选用时应考虑粒径鉴别能力、粒子浓度适用范围和计数效率。仪器应有有效的标定合格证书。

　　3  采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内，并位于工作活动的高度，活动高度宜距地面0.8m;每个采样点的最小采样时间为1min。

　　1  在产品生产工艺有要求时，可按等级粒径范围之外的粒子浓度规定空气洁净度的水平。此类粒子的最大允许浓度和检测方法应由客户与建造商协商确定。2  当需评价小于0.1μm的粒子造成的污染危险时，应采用符合这类粒子具体特性的采样方法和装置;可独立应用U描述符说明超微粒子浓度，也可将它作为悬浮粒子空气洁净度等级的补充说明。

　　U描述符用“U(χ，y)”表示，其中χ为超微粒子的最大允许浓度(pc/m3)，y为以微米计的粒径。

　　例如：粒径范围等于或大于0.01μm的最大允许超微粒子的浓度为140 000个/m3，应表示为“U(140 000，0.01μm)”。

　　3  当需评价大于5μm的粒子造成的污染危险时，应采用符合这类粒子具体特性的采样装置和方法。可独立应用M描述符说明大于5μm的粒子浓度，也可将它作为悬浮粒子空气洁净度等级的补充说明。

　　M描述符用“M(a，b);c”表示，其中a为大粒子的最大允许浓度(pc/m3)，b为与规定的大粒子测量方法相应的当量直径(μm)，c为规定的测量方法。

　　例如：采用显微镜对多级撞击采样器采集的粒子进行检测，测量得到10μm～20μm粒径范围的悬浮粒子浓度为1000个/m3，则用M描述符表示为“M(1000;10μm～20μm);多级撞击采样器以显微镜测定粒径并计数”。

　　A.4.2  双方协议书中应明确测量空气悬浮粒子浓度最少采样点、每次最少的空气采样量、采样时间、每个采样点的测量次数、测量时间间隔、被计数粒子的粒径，以及粒子数的限值。

　　A.4.3  当监测结果超过规定的限值时，则应认定设施不符合要求，应进行修正;修正后应再进行认证检测。当监测结果在规定限值内，可继续监测。

　　A.5.1  按双方协议书的规定及第A.2节的要求，按第A.3节的方法进行测试，当测试结果在规定的限值之内时，可认定该洁净室符合规定要求。当测试结果超过规定的限值，可认定该洁净室不符合要求，应进行改进，在完成改进工作之后，应进行再认证BWIN。

　　1  在空气洁净度测试中，当测点在1点～10点时，应计算平均中值、标准偏差、标准误差和由全部采样点的平均粒子浓度导出95%置信上限值。

　　A.5.3  每次性能测试或再认证测试应做记录，并应提交性能合格或不合格的综合报告。测试报告应包括下列内容：

　　5  被测洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径、被测洁净室所处的状态、气流流型和静压差。